三维芯片混合键合技术升级与工艺验证平台项目
项目介绍
三维芯片混合键合技术升级与工艺验证平台项目位于湖北,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为7644-9240万元。
本项目拟投资8400万元,购置关键制程以及配套检测等设备,搭建微纳互连与三维集成工艺验证平台。开展芯片互连工艺参数优化和可靠性验证,提升多层芯片集成封装能力,为高端芯片产品提供小批量试产,预计生产能力3000片/月。
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