碳化硅功率器件前道制造工艺优化及产业化项目

购置金属刻蚀机、背面湿法刻蚀机、激光退火机、减薄机、钛镍银溅射台等约22台（套）设备，建设从光刻图形化到背面欧姆接触金属化的全流程工艺能力。通过关键工艺开发，降低碳化硅功率器件导通损耗、强化阻断特性、提升良率，形成高性能碳化硅器件的自主制造能力，支撑年产1000万个功率器件模块量产需求。