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碳化硅功率器件湿法工艺提升项目

审批湖北 武汉 更新:2025-07-18 07:00:59

项目介绍

碳化硅功率器件湿法工艺提升项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,市政类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为11830-14300万元。

本项目进行碳化硅功率器件湿法工艺产业化技术改造,拟购置全自动清洗机、湿法刻蚀机、减薄机及化学镀设备等约15台(套)。专项提升高精度清洗、选择性刻蚀、晶圆减薄及欧姆接触金属化工艺,实现降低表面缺陷密度、...
项目名称:碳化硅功率器件湿法工艺提升项目
项目名称:碳化硅功率器件湿法工艺提升项目
项目编号:959871
投资金额:11830-14300CNY 万元
所属行业:机械电子电器-机械
建设性质:新建
当前阶段:立项
进展描述:备案
资金来源:自筹
业主类型:市政类
项目等级:审批
所在地区:湖北 - 武汉
计划开工时间:2025-07
更新时间:
建设内容:本项目进行碳化硅功率器件湿法工艺产业化技术改造,拟购置全自动清洗机、湿法刻蚀机、减薄机及化学镀设备等约15台(套)。专项提升高精度清洗、选择性刻蚀、晶圆减薄及欧姆接触金属化工艺,实现降低表面缺陷密度、...
数据来源:建强金项
发布者:建强金项
当前版本号:1