碳化硅功率器件技术开发及生产制造项目
项目介绍
碳化硅功率器件技术开发及生产制造项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为20930-25300万元。
拟购置激光退火机、减薄机、钛镍银溅射台等约23台(套)设备,建设从光刻图形化到背面欧姆接触金属化的全流程工艺能力。通过关键工艺开发,降低碳化硅功率器件导通损耗、强化阻断特性、提升良率,形成高性能碳化硅...
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