碳化硅功率器件工业检测产线产业化项目
项目介绍
碳化硅功率器件工业检测产线产业化项目位于湖北武汉,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为7735-9350万元。
本项目拟购置金属前刷片清洗机、自动光学检查机、离线粒子检测机、化镀XRF等设备约21台(套),建设SiC外延生长与晶圆制造全流程检测产线,重点提升缺陷检测精度、膜厚均一性、方阻测量误差及工艺稳定性,保...
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