碳化硅功率器件湿法工艺产业化项目
项目介绍
碳化硅功率器件湿法工艺产业化项目位于湖北武汉,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为11830-14300万元。
进行碳化硅功率器件湿法工艺产业化技术改造,拟购置全自动清洗机、湿法刻蚀机、减薄机及化学镀设备等约15台(套)。专项提升高精度清洗、选择性刻蚀、晶圆减薄及欧姆接触金属化工艺,实现降低表面缺陷密度、优化接...
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