单晶硅片关键工序数字化改造项目

项目利用现有厂房，购置LPCVD、八寸晶圆抛光线、全自动单晶炉、全自动激光打标机等智能化设备以及服务器、网络设备等数字化辅助设备,以MES为核心,集成应用FAP、AI大数据分析、工业互联网等关键核心技术，建立工业互联网平台,建设单晶硅片智能工厂。