12寸重掺砷衬底片量产技术研发项目
项目介绍
12寸重掺砷衬底片量产技术研发项目位于内蒙古呼和浩特,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为1365-1650万元。
本项目计划研发一套采用1600型半导体单晶炉,配备超导磁场作为辅助设备,使用高纯原材料及辅材生产12寸重掺砷衬底用硅单晶的工艺流程,目标为实现单台月产12寸集成电路用重掺砷硅晶圆8000片格品。自有资...
🔑 请登录 查看完整项目信息(联系人、环评、进展、附件等)