上海积镁半导体有限公司新建实验室项目

新建半导体金属沉积工艺专业级实验室，力争形成半导体晶圆级湿制程金属沉积装备及半导体湿法装备与化学药液一体化工艺服务平台，专业从事晶圆镀层工艺研发。项目主要采用电化学沉积设备通过调节电流密度、镀液流速、添加剂配方，调整设备的各项工艺参数等进行晶圆镀层工艺研发，同时对处理后的晶圆及电化学沉积设备内部药液进行检测，以验证实验方案条件下设备参数、电镀效果，从而进一步优化研发工艺参数。项目研发实验批次约20...