一种高端光刻机用高温高性能压电陶瓷元件研制项目

本项目为自主研发高端光刻机的极紫外光源中控制锡液流速的超微细管状压电陶瓷元器件，通过技术攻关，解决卡脖子问题。总投资预计2006万元，购置箱式炉、高真空烘烤测试平台、超景深数码显微镜等设备约80余台，对产线进行技术和场地改造，提升研制能力和加工水平，年生产管状陶瓷元件1000只。