基于全国产材料的先进工艺光掩模版上游石英基板
项目介绍
基于全国产材料的先进工艺光掩模版上游石英基板位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为2712-3278万元。
购置双面加工设备5台,超高精度干涉仪1台,扩束设备1台,D600槽沉炉1台,大尺寸环抛设备1台;建设洁净间300平米,用于石英材料的测试及抛光加工;配套供配电、给排水、环保、消防等设施,掩模基板石英原...
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