江西源芯时代电子科技有限公司年加工2000KK芯片晶圆项目

项目位于遂川县高新区东区，租赁吉安江盛科技有限公司厂房面积约20000平方米，主要产品为芯片晶圆，主要原材料是硅，主要设备有光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、CMP化学机械抛光机、光学检测机、电子束检测机、探针测试机等；主要生产工艺流程为：硅锭生长-晶圆切割-晶圆清洗-氧化与扩散-光刻与刻蚀-离子注入-薄膜沉积-平坦化-封装测试。该项目通过园区预审意见，符合园区规划。本企业承诺在项目开工前...