年产100台高精度光学石英件及芯片刻蚀清洗装备研发及产业化技术改造项目
项目介绍
年产100台高精度光学石英件及芯片刻蚀清洗装备研发及产业化技术改造项目位于山东青岛,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为1465-1771万元。
公司购买厂房2000平,进行内部空间规划。规划有生产车间、净化车间、仓储区、办公区。生产车间按照工艺流程的原则布局,新增国内先进设备生产中心2台,雕刻机2台,纯水站1台。从而大大提高了生产效率。凭借先进生产设备和精湛工艺,年产能达到100台。公司主要产品刻蚀、兆声、RCA、Lift Off等各类湿法清洗机,用于去除晶圆、芯片等表面微小颗粒和杂质,从而保证晶片的纯净度和质量。
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