12英寸集成电路硅片制造关键辅耗材工艺验证及应用项目
项目介绍
12英寸集成电路硅片制造关键辅耗材工艺验证及应用项目位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是技改及其他,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为27300-33000万元。
本项目拟购置设备15台套,包含检测设备等,用于12 英寸硅片制造关键原辅料及耗材的工艺验证研发,以提升硅片生产质效,推动国产化规模应用。(该备案为告知性备案,涉及有关行业管理部门职责的,以行业管理部门意见为准)
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