集成电路CMP制程用抛光液建设项目
项目介绍
集成电路CMP制程用抛光液建设项目位于湖北武汉，属于机械电子电器类项目[电子电器]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为1820-2200万元。
改造成万级（局部百级）洁净室500㎡，购置供液柜、配制釜、循环泵、均质泵、混配釜、过滤器、洗桶机、灌装机等仪器设备，完善配套设施。建成年产7000吨集成电路CMP用（铝、铈）抛光液产能规模。
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