扫描探针显微镜
项目介绍
扫描探针显微镜位于浙江杭州，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为13650-16500万元。
1.攻克纳木尺度下的几何量、力学、电学和磁学等特性参数测量；2.开发高精度三维扫描头，实现三维形貌成像、粗糙度、微观结构、原擦力、阻抗分布、电势分布、介电常数,压电特性、磁场分布等纳米参数的测量；3.开发半导体应变计、压电陶瓷驱动系统、极小测力控制算法等。
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