超光半导体年产5000吨集成电路关键工艺材料及研发中心扩建项目
项目介绍
超光半导体年产5000吨集成电路关键工艺材料及研发中心扩建项目位于湖北宜昌,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为6996-8457万元。
项目占地13289平方米,扩建生产车间、研发中心、仓库等共计12868平方米,购置单晶炉、涂胶显影机、电子束曝光机等150余台(套),建设集成电路关键工艺材料生产线4条。年产5000吨集成电路关键工艺材料。
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