江西维易科半导体科技有限公司12寸浸润式涂胶显影设备关键技术研发项目

审批江西上饶更新：2025-05-26 07:00:06

项目介绍

江西维易科半导体科技有限公司12寸浸润式涂胶显影设备关键技术研发项目位于江西上饶，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为2730-3300万元。

对标国外涂胶显影设备头部厂商，拟采购其12寸浸润式涂胶显影机用于拆解、剖析进行逆向研发，购置膜厚及线宽检测等测试设备，应用于开发国产替代的12寸浸润式涂胶显影机。该项目旨在通过深度解析国外涂胶、显影先进技术，实现技术自主化，与国内光刻机研发头部企业同步，实现涂胶、光刻、显影In-Line，提升我国在半导体制造设备领域的核心竞争力。项目将重点突破浸润式涂胶显影机的关键技术，包括但不限于精密涂胶技术、...

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