半导体量检测高保偏紫外光学薄膜技术及产业化
项目介绍
半导体量检测高保偏紫外光学薄膜技术及产业化位于吉林长春，属于机械电子电器类项目[机电其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为4550-5500万元。
建立千级洁净间1000平米，购置紫外光控磁控溅射镀膜机1套，高精度紫外热蒸发镀膜机2台，配套设备冷水机，超级无损清洗设备1套，配备纯水工作站1套，紫外分光光度计3台，紫外辐照光清洗设备2套，高温退火设备1套，喷丸机3套，面形检测设备及附件1套，离子束修型去膜设备1套，匀胶机2套，涂胶烘焙设备5套，曝光机3台，显影机2套，去胶机2台，显微镜5台，刻蚀机2套，贴片机2套，划片机2套，环境控制系统3套。...
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