高精度光谱芯片关键技术研发与产业化

建设光谱芯片制造产线，主要包括：\r1. 洁净车间：建设百级洁净室（150㎡），满足镀膜及光刻工艺环境需求。\r2. 制造工艺设备：配置像元级镀膜系统（高真空蒸发镀膜机+等离子清洗机）、高精度光刻机、刻蚀机、匀胶机、烤胶机。\r3. 检测设备：购置光谱分析仪、SEM、台阶仪等检测设备。\r4. 辅助设施：超纯水系统、气体供应及废气处理设备。\r项目建成后可实现光谱芯片小批量试制，推动国产...