东莞市大尺寸金刚石薄膜制备和应用

项目拟新建具备规模化生产能力的大尺寸金刚石薄膜材料产线，开发和引进大尺寸金刚石生长、剥离、检测及异质集成工艺线等相关设备。利用项目单位最新“革命性”技术完成大尺寸金刚石薄膜制备，氮化镓异质集成以及在算力芯片散热中的应用。本项目将成功突破大尺寸金刚石制备、加工的高难度与高成本瓶颈。推动金刚石材料在军事、民用等领域的应用，提升我国相关产业竞争力。