半导体精密装备零部件国产化替代研发生产基地项目
项目介绍
半导体精密装备零部件国产化替代研发生产基地项目位于湖北武汉，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为45500-55000万元。
新建研发楼、生产厂房、动力站、产品仓库、综合楼，规划建筑面积60000余平方米，建设半导体精密装备零部件再生修复生产线4条，陶瓷精密零部件生产线2条，石英精密零部件生产线4条，硅精密零部件生产线1条、金属精密零部件生产线2条，年生产半导体精密装备零部件新品约50万件
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