江苏无锡市某半导体公司新建半导体均匀器项目配套环保处理设施

建设性质：新建（租赁厂房）；
建设地点：无锡市锡山区鹅湖镇通湖路 12 号；
半导体均匀器生产工艺流程：精密机床加工→测量编号→预脱脂清洗→喷砂→二次预清洗→电烘干→遮蔽→熔射→等离子喷涂→超声波清洗→电烘干→检验→组装、包装入库→成品。
半导体均匀器保养工艺流程：测量→酸碱清洗/浸泡擦拭/超高压水刀及干冰清洗→一次预清洗→二次预清洗→超声波清洗→电烘干→检验→组装、...