新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化
项目介绍
新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化位于广东珠海,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为10920-13200万元。
项目主要拟突破新型显示干法刻蚀多物理场等离子体模拟与设计,关键部件开发与国产化替代、干法刻蚀整机研制集成及量产验证等核心技术,并采购相关设备,实现G6及以上大面积干法刻蚀装备的研发及产业化。
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