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新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化

审批广东 珠海 更新:2025-04-27 07:00:17

项目介绍

新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化位于广东珠海,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为10920-13200万元。

项目主要拟突破新型显示干法刻蚀多物理场等离子体模拟与设计,关键部件开发与国产化替代、干法刻蚀整机研制集成及量产验证等核心技术,并采购相关设备,实现G6及以上大面积干法刻蚀装备的研发及产业化。
项目名称:新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化
项目名称:新型显示G6及以上大面积干法刻蚀装备研发及产业化
项目编号:790874
投资金额:10920-13200CNY 万元
所属行业:建筑房地产-厂房
建设性质:新建
当前阶段:立项
进展描述:备案
资金来源:自筹
业主类型:企事业类
项目等级:审批
所在地区:广东 - 珠海
计划开工时间:2025-04-01
更新时间:
建设内容:项目主要拟突破新型显示干法刻蚀多物理场等离子体模拟与设计,关键部件开发与国产化替代、干法刻蚀整机研制集成及量产验证等核心技术,并采购相关设备,实现G6及以上大面积干法刻蚀装备的研发及产业化。
数据来源:建强金项
发布者:建强金项
当前版本号:1