星载高性能光源与放大产业化项目
项目介绍
星载高性能光源与放大产业化项目位于山东,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价审批结果公示,项目计划投资金额为22172-26802万元。
本项目将购置包含金属有机物化学气相沉积设备(MOCVD)、等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)、电子束曝光机等在内的28台套设备,覆盖研发、生产和测试全流程,主要针对宇航级光电子芯片工艺中涉及到...
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