辽宁某公司电子半导体前驱体项目配套环保设施

高纯电子气体及半导体前驱体项目(二期)利用现有车间三、车间四、车间五及新建甲类车间(原仓库四、仓库五拆除重建)进行建设，并在车间三北侧新建一栋甲类库房及一栋丙类库房(危险废物暂存库)，总投资20000万元，建成后主要产品为高纯电子气体(包括高纯氦、高纯氩、高纯氮、高纯三氟碘甲烷、高纯乙炔、高纯二氧化硫、高纯硫化氢、高纯一氧化氮、高纯三氟化硼11、乙硼烷混合气、硅磷烷混合气和氢锗烷混合气)及半导体前...