江苏苏州市某股份公司新建激光器项目配套废气处理设施

拟购置接触式曝光机，感应耦合等离子体刻蚀机，光学镀膜机等各类生 产、检测及辅助设备约 82 台（套）。项目建成后，年产 3600 万颗通信波段激光器项目 （国家产业限制类和淘汰类除外）。
废气：材料生长过程产生的PH3、非甲烷总烃收集后经1套吸附水洗式Scrubber处理后达标排放，晶圆清洗、光刻胶涂覆、光刻胶烘烤、显影、去除光刻胶、晶圆贴片工序产生的非甲烷总烃收集后经1套二级活性炭吸附...