电子束光刻胶的研发与产业化
项目介绍
电子束光刻胶的研发与产业化位于山东潍坊，属于机械电子电器类项目[电子电器]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为4550-5500万元。
该项目位于潍坊市高新区高七路潍柴配套产业园6＃厂房内，项目占地共计400平米。其中80平方用于电子束光刻胶的研发的实验室建设，包括深紫外电子束光刻胶和新型电子束光刻胶两种关键材料的研发，填补国内空白；320平方用于电子束光刻胶的专用生产线建设，包括生产环境无尘级别的升级改造，使电子束光刻胶生产区间无尘等级达到FS209E标准Class100百级以下，同时购置电子束光刻胶中试与量产的生产反应釜、搅拌...
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