硅外延片车间智能化改造数字化升级项目

对公司现有11号厂房进行智能化、数字化升级改造，新购置单片及多片外延炉，全厂在现有15台外延炉的基础上增加至28台，新购置外延炉全部采用先进设备并配备数字化检测系统和数据管理软件。采用原片检验技术、氯硅烷化学气相沉积法硅片外延技术等，建成生产、销售一体化的工业级智能化工厂。项目主要生产6寸及6寸以下规格硅外延片，建成后预计年产能80万片，全厂年产能达到180万片。