安徽蚌埠市电子公司MEMS智能磁传感器核心器件一期项目配套环保处理设施
项目介绍
安徽蚌埠市电子公司MEMS智能磁传感器核心器件一期项目配套环保处理设施位于安徽蚌埠,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价受理公示,项目计划投资金额为40950-49500万元。
项目总建筑面积约5000m²,其中无尘厂房约2000m²,建设一条年产2亿颗MEMS智能线性类、角度类、磁场类磁传感器核心器件产线。主要工艺包括硅片清洗、涂胶、显影、光刻、离子注入、湿法去胶、干法去胶...
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