广州中科飞测半导体电学量测设备研发项目

项目针对半导体制程过程中的电学量测需求，在广州市黄埔区九龙镇集成电路产业园东片(中新广州知识城)的现有厂房二层千级车间东侧（靠近出货口位置，建筑面积750平方米，占地面积750平方米）进行设备购置及平台搭建，提升研发、试验验证条件，开展半导体电学量测设备研制及工程化研究，实现设备制造并形成量产能力。