半导体量检测设备光学零部件的研发及集成示范项目
项目介绍
半导体量检测设备光学零部件的研发及集成示范项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为33743-40788万元。
针对高端半导体量检测设备核心光学零部件研发生产需求,在武汉东湖新科技开发区光谷筑芯科技产业园(一期)中试车间7号楼1层进行技术开发、样品工程化研制、验证、以及生产线新建,实现核心光学零部件开发并形成量产能力。
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