传感器工艺线技术改造项目

项目位于枣庄市山亭经济开发区翼云科创园内，在核芯光电科技（山东）有限公司现有厂区内，不新增用地，在现有厂房内进行工艺线技术改造，拟对现有厂房东侧预留部分进行装修改造（包含水、电、天然气、特气等配套动力设施），面积约200m2，购置高能离子注入机、溅射台、PECVD+特气、氧化扩散炉等工艺线设备约20台（套），改造PIPS探测器生产线1条。技改完成后，生产线达到设备智能化、能耗降低、产品运行成本降低...