半导体测头升级开发
项目介绍
半导体测头升级开发位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为1968-2379万元。
应对先进技术节点下IC制造中193nm光刻胶光学常数表征、超薄膜厚度测量和多层耦合膜系厚度测量的需求,要求所研制椭偏仪测量光斑尺寸缩减至45m45m,测量波段覆盖190-1000nm,并且具有较高的测...
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