低温泵及RF电源智能化生产线技术改造项目

项目总投资为43000万元，主要建设内容及规模包括建设洁净车间1800㎡，万级无尘车间300㎡，满足半导体生产的高洁净度要求；搭建维修组装调试车间，用于低温泵及RF电源的后期维护、组装与调试；引进智能检测系统、高精度测试平台等，全面提升生产线的智能化水平。