高功率紫光氮化镓基半导体激光器产业化项目

紫光激光器主要用于激光直写曝光、激光检测、UV胶固化等领域，国内外市场需求旺盛，其中最关键在于曝光领域。激光曝光技术可广泛应用于半导体制造、印刷和材料加工等关键领域，长期以来一直被国外企业所垄断。本项目旨在研发并量产应用于激光曝光的紫光高功率GaN基半导体激光器芯片，以满足日益增长的市场需求，并推动广西乃至全国第三代半导体产业的发展。项目通过设备、材料、结构、工艺和器件的创新，优化生产效率，提升生...