高端晶圆处理设备及核心零部件研发及产业化项目

项目主要对已建成的B4栋厂房共四层楼进行装修改造，装修涉及占地面积887.75平方米，建筑面积3685.46平方米。装修后主要用于高端晶圆处理设备及核心零部件的研发及生产，达产后年产光刻胶泵6000台、高纯供液系统5000台、划片机10台。拟购置高纯供液系统实验测试平台、显微镜等设备。