年产70万吨高端半导体化学材料生产基地项目

本项目占地面积约249亩，拟建（1）生产装置：液态三氧化硫装置、电子级96%硫酸装置、电子级36%盐酸装置、电子级31%双氧水装置、电子级29%氨水装置、电子级溶剂装置、电子级混酸装置；（2）公用工程：变配电站、空压站/冷冻站、给水站/循环水站、脱盐水站、消防水池、消防泵房及水罐、氮气站；（3）辅助工程：综合楼、研发楼、甲类仓库、综合仓库、无尘室、液硫罐区、硫酸罐区、盐酸罐区、液氦罐区、甲类罐区、...