广东汕头某公司半导体设备工艺改造研发试验基地项目配套环保处理设施
项目介绍
广东汕头某公司半导体设备工艺改造研发试验基地项目配套环保处理设施位于广东汕头,属于建筑房地产类项目[生产基地],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价,项目计划投资金额为1820-2200万元。
本项目建设一座半导体设备工艺改造研发试验基地,主要进行碳化硅晶棒生长设备工艺改造。为验证工艺试验参数,本项目委托第三方机构对项目中试产生的少量碳化硅晶棒进行性能测试,并根据性能测试的结果进一步进行研究工作。
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