大尺寸钽酸锂单晶薄膜生产线升级改造
项目介绍
大尺寸钽酸锂单晶薄膜生产线升级改造位于山东济南,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为9100-11000万元。
项目位于济南章锦综合保税区内,总占地20000平方米,项目主要利用钽酸锂晶圆、硅晶圆等原材料采用离子注入与键合分离关键技术生产钽酸锂单晶薄膜材料。项目主要升级改造现有钽酸锂单晶薄膜生产线,新购置注入机2台、氧化炉2台、键合机2台、研磨机1台、抛光机1台、检测设备等共40余台/套。项目总投资10000万元,其中,企业自筹5000万元,银行贷款5000万元。升级改造后,产线的生产能力由最大6英寸提高到...
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