江苏某机电企业生产项目配套环保预处理设施

江苏鑫华半导体材料科技有限公司拟投资120000万元租赁江苏中能硅业科技发展有限公司厂区内已建成厂房及空地，建设年产5000吨大尺寸集成电路用高纯硅料及年产1500吨电子特气项目。建设内容主要包括新建精馏装置、还原装置、还原尾气回收系统、自动化酸洗线等，建成后新增年产5000吨大尺寸集成电路用高纯硅料产能；新建电子特气生产装置，可年产500t/a二氯二氢硅及1000t/a三氯化硅电子特气。