碳化硅高温离子注入机研发与产业化项目

项目位于济南市高新区产研院高科技创新园，改造现有厂房3000平方米，新购置机械手、电加热水洗、源磁铁、高压电源等离子注入机相关零部件，主要用于碳化硅离子注入机的研发与设计。项目优化了光路、Al离子源仿真改进，自研金属Al源寿命长≥150小时；改进了束流和剂量的测量与控制方法，AutoTurnBeam成功率大于90%，生产效率是同类型设备的1.5倍以上；重构了软件系统，设备控制、人机操作及数据处理完...