碳化硅高温离子注入机研发与产业化项目
项目介绍
碳化硅高温离子注入机研发与产业化项目位于山东济南,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为27300-33000万元。
项目位于济南市高新区产研院高科技创新园,改造现有厂房3000平方米,新购置机械手、电加热水洗、源磁铁、高压电源等离子注入机相关零部件,主要用于碳化硅离子注入机的研发与设计。项目优化了光路、Al离子源仿...
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