碳化硅功率器件晶圆制造产线能力提升项目
项目介绍
碳化硅功率器件晶圆制造产线能力提升项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,市政类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为19110-23100万元。
本项目拟购置离子注入机、高温氧化炉、高温退火炉等生产设备约20台(套),降低单机风险,增加月产能力,提高制造工艺水平。
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