基于多次外延的超结MOSFET芯片电学参数一致性提升技术研究及产业化
项目介绍
基于多次外延的超结MOSFET芯片电学参数一致性提升技术研究及产业化位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是扩建,市政类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为4550-5500万元。
开展多次外延超结MOSFET产品和关键制造工艺技术研究;通过添置涂胶轨道机、湿法清洗机、沉积炉、金属溅射台4台套超结MOSFET芯片生产设备,完善超结芯片工艺制造能力,形成超结芯片批量加工能力;通过超...
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