高速半导体12英寸未抛光硅片缺陷精细检测及分类技术项目
项目介绍
高速半导体12英寸未抛光硅片缺陷精细检测及分类技术项目位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为2002-2420万元。
项目拟购置硬件及软件设备共约12台(套),检测仪器4台(表面粗糙度测量仪、色差测量仪等),搬运设备4台,研发仪器4台(光学研发平台、干涉仪、视觉检测相机等),用于半导体光学检测设备开发及产业化,达到年...
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