广东省科学院半导体研究所微纳加工平台建设项目

本项目主要从事半导体技术研发活动，年研发图形化薄膜200片；建设内容主要包括研发室、检测室、设备室、更衣室等，以及配套的公用辅助工程、环保工程等；建筑面积约201平方米，占地面积约186平方米；主要研发设备包括：1台电子束曝光机、1台有机清洗台、1台无机清洗台、1台匀胶通风橱、1台显微镜、以及1台台阶仪等。