半导体显示用光刻特种光源产业化项目

项目建设地点位于烟台黄渤海新区上海大街48号，项目租赁烟台开发区联方机械有限公司5＃厂房1117.67平方米，并对厂房内部进行适应性改造装修。购置玻璃车床、高真空充排气台、高频感应加热机、真空焊接手套箱、点焊机、电测机、管式气氛炉、高温退火炉等生产、检测设备20台（套），建设半导体显示用光刻特种光源产业化生产线。建成后，形成年生产半导体显示用光刻特种光源5000个的生产能力。项目不在保护区内，不涉...