8英寸碳化硅单晶衬底制造工艺技术研发和产业化项目
项目介绍
8英寸碳化硅单晶衬底制造工艺技术研发和产业化项目位于山东济南,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为22568-27280万元。
项目位于济南市历城区虎山路889号济南智能传感器产业园(南区),基于公司已建成的8英寸碳化硅单晶衬底生产线实施,优化原有单晶炉、晶片切割机和衬底抛光机选型和制造工艺技术研发及工艺技术能力提升。技术改造后,产线由年产7万片普通碳化硅单晶衬底产品提升为年产6万片低微管密度、小弯曲度的高品质碳化硅单晶衬底。项目年综合能源消费当量值约500吨标准煤。项目不属于“两高”项目,项目符合产业政策且未开工建设。
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