年产50万片半导体集成电路晶圆先进检测产线项目
项目介绍
年产50万片半导体集成电路晶圆先进检测产线项目位于浙江湖州,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为27427-33154万元。
建设年产50万片半导体集成电路晶圆先进检测产线,包括购置探针台、ATE测试机、分选机、晶圆检测显微镜、红外/光学对位检测系统、厚度超曲度检测仪等先进设备50C余台
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