半导体制备核心设备及封装工艺研发项目
项目介绍
半导体制备核心设备及封装工艺研发项目位于广东广州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为55510-67100万元。
本项目符合《“十四五”国家信息化规划》,符合国家半导体产业发展的需求。项目建设总投资6.1亿元,占地约26500平米。项目研制超精密研磨抛光设备、国产化第三代半导体离子注入机和3D封装技术。拟建成第三...
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